第72回応用物理学会春季学術講演会

当社は、下記のとおり参加・出展いたします。

■第72回応用物理学会春季学術講演会
日程:2025年3月14日(金)~17日(月)
会場:東京理科大学野田キャンパス

○講演・セミナー
・3/16(日)11:00〜 @K103(講義棟)
 口頭講演 登壇者:Roberto Iaconi
 16a-K103-8「Towards accurate CMP simulations: Bridging experimental data and numerical models for 6-in SiC wafers」
 ※この成果は、NEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)の助成事業の結果得られたものです。

・3/17(月)9:15〜 @K505(講義棟)
 口頭講演 登壇者:関 翔太(取締役・技術統括)
 17a-K505-2「半導体製造における企業間を跨いだデジタルツインによるウェーハ・デバイスプロセスの全体最適化」
 ※この成果は、NEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)の委託業務の結果得られたものです。

・3/17(月)10:45〜 @K505(講義棟)
 口頭講演 登壇者:Kevin Operiano
 17a-K505-7「Enhancing an Autoregressive Generative Wafer Polishing U-net Model」
 ※この成果は、NEDO(国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構)の助成事業の結果得られたものです。

・3/16(日)11:45〜 @K103(講義棟)  
 ※[16a-K103-1~10] 13.4 Si系プロセス・Si系薄膜・MEMS・装置技術セッション終了後
 ショートセミナー 登壇者:髙石 将輝(代表取締役)
 「プロセスインフォマティクスの展開可能性について」

○企業展示 JSAP EXPO Spring 2025 @東京理科大学 野田キャンパス 森戸記念体育館 「小間番号:E-87」
 3月14日(金)~16日(日)9:30~18:00
 3月17日(月)9:30~12:00

第72回応用物理学会春季学術講演会 公式サイト

皆様のご来場をお待ちしております。

JSAP EXPO Spring 2025 会場マップ